1928年に菊池征四郎博士がカルサイト（方解石：炭酸塩鉱物）の表面に低角で電子線を照射して得たかすかなパターンが菊池パターン（反射電子が試料中の原子面によって回折されることによるバンド状のパターン）である。
電子線後方散乱回折（Electron Backscattered Diffraction Pattern：EBSD）法は、走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：SEM）内で大きく傾斜した試料に電子線を照射した際に発生するこの菊池パターンを収集し解析することで、ミクロな結晶方位（結晶面の並びの方向）や結晶系を測定できる結晶方位解析手法の一つであり、ボイラにおいても、Ni基合金のクリープ損傷評価や鉄鋼材料の熱処理・経年劣化に伴うミクロ組織変化の確認など、活用範囲は広い。
本報では、非鉄金属の結晶相の解析及びオーステナイト系ステンレス鋼の析出物の解析例について紹介する。