近年、電子部品の小型化、高密度化に伴い製品開発における構造解析や故障解析に対して高倍率での観察可能な走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：SEM）のニーズが高まっている。さらに観察のみならず同時に元素分析が行えるエネルギー分散型X線分析装置（Energy Dispersive X-ray Spectrometer：EDXまたはEDS）を付加した走査電子顕微鏡（SEM-EDX）が一般的となっている。本報では2019年に更新した新型走査電子顕微鏡システムの特長とその機能について紹介する。